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半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中露點(diǎn)儀該怎么選擇?
在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中,露點(diǎn)儀是一種非常重要的測(cè)量?jī)x器,用于測(cè)量氣體中的濕度。露點(diǎn)儀的選擇直接影響到半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。下面就介紹一些選擇露點(diǎn)儀的要點(diǎn)。首先,要選擇適合自己生產(chǎn)需求的露點(diǎn)儀。不同的半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝需要不同的露點(diǎn)測(cè)量范圍。一般來(lái)說(shuō),露點(diǎn)儀的測(cè)量范圍在-80℃~+80℃之間,但也有一些特殊的要求,需要根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行選擇。其次,要考慮露點(diǎn)儀的精度和穩(wěn)定性。精度和穩(wěn)定性是衡量一臺(tái)露點(diǎn)儀的重要指標(biāo)。精度越高,測(cè)得的數(shù)據(jù)就越準(zhǔn)確;穩(wěn)定性越好,儀器校準(zhǔn)的次數(shù)就越少,可以...
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